[实用新型]用于存放蒸镀金属掩膜板的带涂层卡匣

摘要

本实用新型涉及一种用于存放蒸镀金属掩膜板的带涂层卡匣，所述卡匣包括卡匣主体，所述卡匣主体由底板、顶板、若干侧立柱以及若干支撑板连接构成，形成若干层；每层支撑板上分别设置有若干垫板以及四组限位块；所述顶板上设置有供MCT搬送的吊点治具；若干卡匣叠放，相邻卡匣之间设置有定位销组；所述顶板、底板、侧立柱、支撑板的材质均为铝合金，表面分别氧化；所述垫板、限位块、吊点治具、定位销组的材质均为不锈钢，表面分别均涂布有类金刚石涂层。整体结构更加轻便，通过涂布类金刚石涂层（DLC涂层），提高其耐磨性，使用寿命长，避免金属掩膜板存取摩擦、卡匣叠加接摩擦以及其他制程工艺过程中产生细小颗粒及尘离子。