[实用新型]蚀刻基板边沿压紧框架有效
| 申请号： | 201921424078.0 | 申请日： | 2019-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN210015836U | 公开（公告）日： | 2020-02-04 |
| 发明（设计）人： | 李东一;梁君 | 申请（专利权）人： | 重庆臻宝实业有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/687;H01L21/67 |
| 代理公司： | 50216 重庆为信知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 龙玉洪 |
| 地址： | 401326 重庆市九*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种蚀刻基板边沿压紧框架，包括呈环状结构的本体，本体中心形成露出孔，本体包括从外至内依次设置的平衡部、支撑部和遮蔽部，平衡部、支撑部和遮蔽部的上表面齐平，厚度分别为h1、h2和h3，且h1＞h2＞h3，其中支撑部的下表面具有向下凸出的支撑凸点，所述支撑凸点的厚度为h4，且h1≥h2+h4；所述遮蔽部端部具有沿其长度方向向外延伸的接触部，所述接触部上表面与遮蔽部上表面齐平，接触部的厚度为h5，且h2＞h5＞h3，所述接触部远离露出孔的一端与遮蔽部之间具有弧形倒角。有利于提高框架在底座上的稳定性，同时防止蚀刻气体侵入对框架和基板边沿破坏，大大延长框架的使用寿命，并提高基板成品品质。 | ||
| 搜索关键词： | 遮蔽 上表面齐平 支撑凸点 露出孔 平衡部 支撑 本实用新型 成品品质 弧形倒角 环状结构 基板边沿 蚀刻基板 蚀刻气体 使用寿命 压紧框架 依次设置 上表面 凸出的 下表面 基板 底座 侵入 延伸 | ||
【主权项】：
1.一种蚀刻基板边沿压紧框架，包括呈环状结构的本体(1)，所述本体(1)中心形成露出孔(2)，其特征在于：所述本体(1)包括从外至内依次设置的平衡部(1a)、支撑部(1b)和遮蔽部(1c)，所述平衡部(1a)、支撑部(1b)和遮蔽部(1c)的上表面齐平，厚度分别为h1、h2和h3，且h1＞h2＞h3，其中支撑部(1b)的下表面具有向下凸出的支撑凸点(10)，所述支撑凸点(10)的厚度为h4，且h1≥h2+h4；/n所述遮蔽部(1c)端部具有沿其长度方向向外延伸的接触部(1d)，所述接触部(1d)上表面与遮蔽部(1c)上表面齐平，接触部(1d)的厚度为h5，且h2＞h5＞h3，所述接触部(1d)远离露出孔(2)的一端与遮蔽部(1c)之间具有弧形倒角(R1)。/n
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