[实用新型]集成的超长时间常数时间测量设备

摘要

本实用新型的实施例涉及集成的超长时间常数时间测量设备。一种集成的超长时间常数时间测量设备包括串联连接的基本电容性元件。每个基本电容性元件由第一导电区域、介电层和第二导电区域的堆叠形成，介电层具有的厚度适合于允许电荷通过直接隧道效应流动。第一导电区域容纳在从半导体衬底的正面向下延伸到半导体衬底中的沟槽中。介电层位于半导体衬底的第一面上，特别是位于沟槽中的第一导电区域的一部分上。第二导电区域位于介电层上。