[实用新型]薄膜体声波谐振器及滤波器有效
| 申请号： | 201921433456.1 | 申请日： | 2019-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN211959173U | 公开（公告）日： | 2020-11-17 |
| 发明（设计）人： | 缪建民;张瑞珍 | 申请（专利权）人： | 迈感微电子（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17;H03H9/05;H03H3/02;H03H9/58 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201313 上海市浦东新区万*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型实施例公开了一种薄膜体声波谐振器及滤波器，该薄膜体声波谐振器包括：支撑结构，所述支撑结构内部设置空气隙；形成在所述支撑结构上的自下而上排列的下电极、压电层和上电极。本实用新型实施例提供的技术方案，增加了薄膜体声波谐振器的机械牢固度，有效避免常规工艺牺牲层被灌入通孔的腐蚀液腐蚀不完全和腐蚀液清洗不干净的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 声波 谐振器 滤波器 | ||
【主权项】：
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