[实用新型]一种柔性曝光机升降平台装置有效
| 申请号： | 201921438189.7 | 申请日： | 2019-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN210691040U | 公开（公告）日： | 2020-06-05 |
| 发明（设计）人： | 余燕青;甘泉 | 申请（专利权）人： | 东莞市友辉光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H05K3/06 |
| 代理公司： | 东莞市创益专利事务所 44249 | 代理人： | 许彬 |
| 地址： | 523000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种柔性曝光机升降平台装置，其具有升降座及支撑座，支撑座提供平行竖立的四根立柱，四根立柱分布在支撑座的四个方向，每根立柱上均设有直线导轨，且不同立柱上的直线导轨设置方位不同；所述升降座对应四根立柱的方位分别设有安装支脚，在安装支脚上设有沿立柱方向延伸的U形滑套，U形滑套对应套接直线导轨。本实用新型实现升降座升降时四个方向均有限位，不同立柱上的直线导轨相互限定升降座升降，使升降座每次升降更平稳、准确，用于曝光机，实现机械升降对位，跟上曝光机的速度，提升产品质量一致性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 曝光 升降 平台 装置 | ||
【主权项】：
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