[实用新型]硅片清洗用石英槽有效
| 申请号： | 201921444123.9 | 申请日： | 2019-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN210586280U | 公开（公告）日： | 2020-05-22 |
| 发明（设计）人： | 高翔鹰;张少阳;裴文龙;陈晨 | 申请（专利权）人： | 苏州芯矽电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B13/00 | 分类号： | B08B13/00;B08B3/08;B08B3/10;H01L21/673 |
| 代理公司： | 南京艾普利德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32297 | 代理人： | 陆明耀 |
| 地址： | 215000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型揭示了一种硅片清洗用石英槽，包括具有方形结构的外槽和内槽，所述外槽和内槽套设呈双层结构，所述内槽的槽口面低于所述外槽的槽口面，所述内槽的槽口位置为锯齿结构，用于使所述内槽中的清洗液溢流至外槽中，所述外槽和内槽之间设置有循环管路，其特征在于：所述内槽中设置有用于放置硅片的支撑架，所述支撑架与所述内槽不接触，所述支撑架由设置在所述外槽外侧的立架所支撑。本实用新型的有益效果主要体现在：减少石英槽承载力，通过立架的支撑设置使得内部石英槽几乎不受力，大大减少了内部石英槽的承载力；延长石英槽的使用寿命；辅助监测装置提高安全性，解放人力。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 清洗 石英 | ||
【主权项】：
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