[实用新型]冷阱装置以及扩散炉设备有效
| 申请号： | 201921458070.6 | 申请日： | 2019-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN211462147U | 公开（公告）日： | 2020-09-11 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | B01D8/00 | 分类号： | B01D8/00 |
| 代理公司： | 上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙) 31260 | 代理人： | 成丽杰 |
| 地址： | 230601 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型实施例涉及一种冷阱装置及扩散炉设备，包括：外壳体，所述外壳体包括第一进气口和第一出气口；内壳体，所述内壳体位于所述外壳体内，且所述内壳体相对于所述外壳体可拆卸，所述内壳体包括第二进气口和第二出气口，所述第二进气口与所述第一进气口相贯通，所述第二出气口与所述第一出气口相贯通；冷却管路，所述冷却管路位于所述内壳体内。本实用新型能够缩短冷阱装置保养耗时，提高机台产能。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 以及 扩散 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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