[实用新型]一种抛光液配置装置有效
| 申请号： | 201921459628.2 | 申请日： | 2019-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN210815033U | 公开（公告）日： | 2020-06-23 |
| 发明（设计）人： | 祝斌;武卫;孙晨光;刘建伟;由佰玲;刘园;谢艳;杨春雪;刘秒;常雪岩;裴坤羽;吕莹;徐荣清 | 申请（专利权）人： | 天津中环领先材料技术有限公司 |
| 主分类号： | B01F13/10 | 分类号： | B01F13/10;B01F15/00;B01F15/02;B01F3/22;B24B57/02 |
| 代理公司： | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人： | 栾志超 |
| 地址： | 300384 天津市滨海*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种抛光液配置装置，粗抛单元包括粗抛原液组和粗抛混合桶，粗抛原液组与粗抛混合桶连通，粗抛混合桶与抛光机连通；精抛单元包括精抛原液组和精抛混合桶，精抛原液组与精抛混合桶连通，精抛混合桶与抛光机连通；表面活性单元包括表面活性原液组和表面活性混合桶，表面活性原液组与表面活性混合桶连通，表面活性混合桶与抛光机连通；纯水单元与粗抛混合桶、精抛混合桶和表面活性混合桶连通；在粗抛混合桶、精抛混合桶和表面活性混合桶内均设有循环泵，当纯水溶剂配置完毕后开始滴定原液溶质时循环泵开始循环工作。本实用新型可自动控制抛光液配置比例，改善硅片表面质量，自动化程度高，生产效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 抛光 配置 装置 | ||
【主权项】：
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