[实用新型]一种低压扩散炉低压扩散压力监控装置有效
申请号: | 201921462125.0 | 申请日: | 2019-09-04 |
公开(公告)号: | CN210625394U | 公开(公告)日: | 2020-05-26 |
发明(设计)人: | 蒋海良 | 申请(专利权)人: | 嘉兴金瑞光伏科技有限公司 |
主分类号: | F27D21/00 | 分类号: | F27D21/00;H01L21/66;H01L21/67 |
代理公司: | 嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) 33253 | 代理人: | 张淼 |
地址: | 314000 浙江省嘉兴*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种低压扩散炉低压扩散压力监控装置,属于压力检测技术领域,包括壳体、顶板、显示屏、凹槽一、凹槽二、压力传感器、活动板、滑块一、螺纹连接口、流动通道、无纺布、支撑杆一、滑块二、滑槽一、压缩弹簧、支撑杆二、固定块、连接板、固定弹簧,所述壳体的上端中间位置固定连接有顶板,所述壳体的下端中间位置设有螺纹连接口,所述顶板的下端底部设有凹槽一和凹槽二,所述顶板的下端中间位置固定连接有压力传感器,所述压力传感器的一端设置在活动板中间的内部,所述活动板的两侧设有滑块一,本实用新型通过设有的活动板通过压力进行推动从而将活动板与压力传感器进行接触,从而实现压力检测的效果。 | ||
搜索关键词: | 一种 低压 扩散 压力 监控 装置 | ||
【主权项】:
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