[实用新型]真空镀膜系统及其翻板阀有效
| 申请号： | 201921469717.5 | 申请日： | 2019-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN210394512U | 公开（公告）日： | 2020-04-24 |
| 发明（设计）人： | 张智明;靳毅;田旭;孙围华 | 申请（专利权）人： | 川北真空科技（北京）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 于妙卓 |
| 地址： | 102200 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种真空镀膜系统及其翻板阀，用于密封真空腔体上的阀门通径，包括阀板、摆杆组件以及驱动组件，阀板用于封堵阀门通径，阀板的一侧与真空腔体的内壁转动连接；摆杆组件与真空腔体内壁转动连接，摆杆组件包括与阀板的另一侧铰接的第一摆杆以及与真空腔体的内壁转动连接的第二摆杆，第一摆杆和第二摆杆相铰接；驱动组件驱动第二摆杆转动。本实用新型提供的真空镀膜系统及其翻板阀，摆杆组件可以在驱动组件的驱动下带动阀板的翻转，驱动组件之间由两个摆杆相铰接进行摆动的传递，能够有效的避免整个摆杆组件因为转动过于频繁从而导致螺栓松动的问题，保证翻板阀的平稳运行且使用寿命更长。 | ||
| 搜索关键词： | 真空镀膜 系统 及其 翻板阀 | ||
【主权项】：
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