[实用新型]一种实现渐变色的离子溅射镀膜装置有效
申请号: | 201921478704.4 | 申请日: | 2019-09-06 |
公开(公告)号: | CN210916240U | 公开(公告)日: | 2020-07-03 |
发明(设计)人: | 冯伟;吴海平;杜晓颖;杜国才 | 申请(专利权)人: | 深圳市长兴荣五金制品有限公司 |
主分类号: | C23C14/46 | 分类号: | C23C14/46;C23C14/02;C23C14/06;C23C14/08;C23C14/14 |
代理公司: | 中山市兴华粤专利代理有限公司 44345 | 代理人: | 翁晓婵 |
地址: | 518117 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种实现渐变色的离子溅射镀膜装置,包括真空室(1),所述真空室(1)上安装有驱动机构,所述真空室(1)内安装有第一极靶(41)、第二极靶(42)、用于悬挂工件(7)的转架(2),所述驱动机构和所述转架(2)连接,所述第一极靶(41)位于所述转架(2)的外圈,所述第二极靶(42)位于所述转架(2)的内圈,且所述第一极靶(41)和第二极靶(42)相互对称设置。本实用新型能够生产多种颜色,色彩较绚丽,结构简单,操作简便,成本低。 | ||
搜索关键词: | 一种 实现 渐变 离子 溅射 镀膜 装置 | ||
【主权项】:
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