[实用新型]装载平台限位装置

摘要

本实用新型提供的装载平台限位装置，包括：限位柱，所述限位柱位于所述装载平台上；限位块，所述限位块位于所述装载平台上，所述限位块为柱体，所述限位块的截面包含上部倾斜边和下部竖直边，所述上部倾斜边和所述下部竖直边相邻，所述上部倾斜边和所述下部竖直边呈夹角为滑入内角，所述滑入内角为钝角；所述下部竖直边的高度大于或等于所述限位柱的高度。据此，晶圆盒从天车系统的6m高度投放时，晶圆盒先接触限位块，限位块组成的Y型结构能够对晶圆盒起到预先校准和导向的作用，从而晶圆盒能够准确的放置到设计的位置，并能够平稳的同时触发装载平台接触侦测装置，不会产生装载位置错误报警，减少机台停机，减少人工干预。