[实用新型]一种MEMS器件的封盖分离装置有效
| 申请号： | 201921479855.1 | 申请日： | 2019-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN210548691U | 公开（公告）日： | 2020-05-19 |
| 发明（设计）人： | 龚慧兰;其他发明人请求不公开姓名 | 申请（专利权）人： | 厦门睿析检测技术有限公司 |
| 主分类号： | B23K3/00 | 分类号： | B23K3/00 |
| 代理公司： | 北京劲创知识产权代理事务所(普通合伙) 11589 | 代理人： | 王志敏 |
| 地址： | 361000 福建省厦门市中国(福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供了一种MEMS器件的封盖分离装置，包括MEMS器件夹具、设于MEMS器件夹具上端的加热组件，以及设于MEMS器件夹具一侧的封盖分离组件，封盖分离组件包括设于MEMS器件夹具一侧的真空吸嘴、设于真空吸嘴中部的支架，以及与真空吸嘴连接的真空发生器，真空吸嘴与所述支架转动连接。上述MEMS器件的封盖分离装置，使用时，将MEMS器件通过MEMS器件夹具夹紧，然后通过加热组件对MEMS器件的封盖进行加热，使得封盖下端的接合剂热熔，接合剂失去粘性，再通过封盖分离组件中的真空发生器，使得真空吸嘴吸紧封盖，最后使真空吸嘴绕支架转动，使得真空吸嘴带动封盖向上移动，脱离与MEMS器件其他部分的连接，实现高效、无损伤拆除封盖，且成功率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 器件 分离 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于厦门睿析检测技术有限公司，未经厦门睿析检测技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201921479855.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
