[实用新型]超高真空用精密压电陶瓷摆动台有效
| 申请号： | 201921484733.1 | 申请日： | 2019-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN210380693U | 公开（公告）日： | 2020-04-21 |
| 发明（设计）人： | 王文杰 | 申请（专利权）人： | 仪晟科学仪器（嘉兴）有限公司 |
| 主分类号： | H02N2/00 | 分类号： | H02N2/00 |
| 代理公司： | 嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) 33253 | 代理人： | 张抗震 |
| 地址： | 314000 浙江省嘉兴市南湖区亚*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种超高真空用大行程精密压电位移台，包括两个交叉滚珠导轨，每个交叉滚珠导轨包括第一导轨体、第二导轨体和导轨保持架，所述导轨保持架位于第一导轨体和第二导轨体之间，所述导轨保持架同时与第一导轨体和第二导轨体耦合。本实用新型公开的超高真空用精密压电陶瓷摆动台，结构简单、尺寸较小、运动范围较大、漂移范围较小，在一个方向运动的同时不会在其他方向产生晃动。 | ||
| 搜索关键词： | 超高 真空 精密 压电 陶瓷 摆动 | ||
【主权项】：
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