[实用新型]具有石材支架的光刻设备有效

专利信息
申请号: 201921505267.0 申请日: 2019-09-11
公开(公告)号: CN210466010U 公开(公告)日: 2020-05-05
发明(设计)人: 温伟华 申请(专利权)人: 广东台名智能设备有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 深圳科湾知识产权代理事务所(普通合伙) 44585 代理人: 钟斌
地址: 523000 广东省东*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 一种具有石材支架的光刻设备,包括:传输机构、投影机构和机箱,传输机构和投影机构都位于机箱的内部,传输机构从机箱的前端延伸至后端,投影机构位于机箱的后端;投影机构包括:多个投射光源和支架,投射光源固定在支架的上端,多个投射光源呈矩阵式排列,支架由石材形成。由于采用了石材的支架,因此可以避免支架变形或者断裂的情况,防止投影方向偏转,使线路图案有效地投影在电路板上。
搜索关键词: 具有 石材 支架 光刻 设备
【主权项】:
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