[实用新型]具有石材支架的光刻设备有效
申请号: | 201921505267.0 | 申请日: | 2019-09-11 |
公开(公告)号: | CN210466010U | 公开(公告)日: | 2020-05-05 |
发明(设计)人: | 温伟华 | 申请(专利权)人: | 广东台名智能设备有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 深圳科湾知识产权代理事务所(普通合伙) 44585 | 代理人: | 钟斌 |
地址: | 523000 广东省东*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 一种具有石材支架的光刻设备,包括:传输机构、投影机构和机箱,传输机构和投影机构都位于机箱的内部,传输机构从机箱的前端延伸至后端,投影机构位于机箱的后端;投影机构包括:多个投射光源和支架,投射光源固定在支架的上端,多个投射光源呈矩阵式排列,支架由石材形成。由于采用了石材的支架,因此可以避免支架变形或者断裂的情况,防止投影方向偏转,使线路图案有效地投影在电路板上。 | ||
搜索关键词: | 具有 石材 支架 光刻 设备 | ||
【主权项】:
暂无信息
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