[实用新型]分组控制石墨舟吸盘装置有效
| 申请号： | 201921506571.7 | 申请日： | 2019-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN210403690U | 公开（公告）日： | 2020-04-24 |
| 发明（设计）人： | 姜明 | 申请（专利权）人： | 苏州诚拓机械设备有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683 |
| 代理公司： | 苏州通途佳捷专利代理事务所(普通合伙) 32367 | 代理人： | 李阳 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及硅片制造领域，公开了一种分组控制石墨舟吸盘装置，包括多个吸盘组件和将多个吸盘组件连接在一起的紧固装置；所述紧固装置包括紧固板、紧固杆和安装板；所述吸盘组件和紧固板均安装在安装板上；所述多个吸盘组件和紧固板通过紧固杆串连成一个整体；所述吸盘组件上设置有三个吸气孔和与吸气孔连接的吸盘；所述紧固板上设置有三个吸嘴；每个吸嘴互相独立，三个吸嘴分别与相邻的吸盘组件的三个吸气孔连通。该装置一共三组吸盘，每组吸盘均通过单独的吸嘴进行吸真空，实现了每组吸盘的单独控制，并可分别调节真空压力，设备工作时三组吸盘依次吸真空，设备移动时三组吸盘同时吸真空。 | ||
| 搜索关键词： | 分组 控制 石墨 吸盘 装置 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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