[实用新型]一种整合PECVD和PVD镀膜制造HIT电池的设备

摘要

本实用新型公开了一种整合PECVD和PVD镀膜制造HIT电池的设备，包括链式循环运行的载板，以及依次设置的机械手上料台、本征非晶硅镀膜体系、水平移载台一、N层非晶硅镀膜体系、翻转移载台、P层非晶硅镀膜体系、水平移载台二、TCO镀膜体系及机械手下料台，以及用于载板回传的载板回传循环系统一、载板回传循环系统二、载板回传循环系统三及载板回传循环系统四。该实用新型通过设备整合将上下各两层非晶硅的PECVD镀膜工艺和上下各一层TCO膜的PVD镀膜工艺集成到一台设备里，可以一次性完成HIT电池的6层膜的镀膜，具有产能高、设备占地面积小、设备制造成本低、自动化程度高等优点。