[实用新型]一种研磨装置有效
| 申请号： | 201921551719.9 | 申请日： | 2019-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN210550367U | 公开（公告）日： | 2020-05-19 |
| 发明（设计）人： | 廖世容;刘朝辉 | 申请（专利权）人： | 浙江光特科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B37/30 |
| 代理公司： | 绍兴普华联合专利代理事务所(普通合伙) 33274 | 代理人： | 桑杨 |
| 地址： | 312000 浙江省绍兴市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种研磨装置，包括研磨机构、定位机构、真空泵、夹持机构、陶瓷盘、真空罩，陶瓷盘上开设有若干通孔，陶瓷盘上设有若干定位柱，真空罩上部开孔，孔内安装密封圈，密封圈中插入有连接管，连接管上设有调节阀。本实用新型可以提高研磨的磷化铟晶圆片的均匀性，同时可以加快研磨后从陶瓷盘上取下磷化铟晶圆片的速度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 研磨 装置 | ||
【主权项】：
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