[实用新型]一种管道监测装置有效
| 申请号： | 201921553275.2 | 申请日： | 2019-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN210860677U | 公开（公告）日： | 2020-06-26 |
| 发明（设计）人： | 张明 | 申请（专利权）人： | 武汉新芯集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | F17D5/02 | 分类号： | F17D5/02;F17D5/00;F17D3/01;G01D21/02 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 俞涤炯 |
| 地址： | 430205 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及管道检测技术领域，尤其涉及一种半导体制造设备的管道监测装置，连接流体传输管道，管道监测装置包括：一泄压阀，泄压阀的入口端通过一连接部件连接流体传输管道，泄压阀的出口端连接一储液桶，当流体传输管道内的压力高于一第一预设值时，泄压阀自动开启将流体传输管道内的流体排放到储液桶内储存。本实用新型技术方案的有益效果在于：提供一种管道监测装置，通过泄压阀调节流体传输管道内的压力，防止流体传输管道内的压力过高而发生爆管；管道监测装置的结构简单，安装方便，适用于多种机台的监测，具有较高适应性，降低机台附属设备成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 管道 监测 装置 | ||
【主权项】：
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