[实用新型]一种同步多级伸缩机构及PECVD设备有效
| 申请号： | 201921553630.6 | 申请日： | 2019-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN211495948U | 公开（公告）日： | 2020-09-15 |
| 发明（设计）人： | 王玉明;刘景博;陈晖;张庶 | 申请（专利权）人： | 苏州拓升智能装备有限公司 |
| 主分类号： | B65G47/90 | 分类号： | B65G47/90;C23C16/50 |
| 代理公司： | 北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11369 | 代理人： | 韩飞 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种同步多级伸缩机构及PECVD设备，该同步多级伸缩机构包括：至少两组伸缩组件，其调节所述同步多级伸缩机构的长度；驱动组件，其驱动所述伸缩组件的伸长或收缩；传动组件，其设于两两所述伸缩组件的端部；以及固定组件，其固定所述伸缩组件；其中，两两所述伸缩组件被并联地布置在所述传动组件的两端以实现两两所述伸缩组件同时前后伸缩往复运动。本案的同步多级伸缩机构可实现所述伸同步多级伸缩机构伸缩长度同时成倍递增或递减，且在可以承受大负载的同时降低结构的成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 同步 多级 伸缩 机构 pecvd 设备 | ||
【主权项】：
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