[实用新型]一种掩膜版及其蒸镀装置

摘要

本实用新型涉及OLED显示器技术领域，具体涉及一种掩膜版及其蒸镀装置。本实用新型提供的掩膜版，包括掩膜版本体，还包括，若干蒸镀孔，设置于所述掩膜版本体上且贯穿所述掩膜版本体上下表面，用于蒸镀材料通过所述蒸镀孔进行蒸镀以形成蒸镀图案；至少一层保护层，设置于所述掩膜版本体一侧上，所述保护层与所述蒸镀孔相对应区域设置开孔，所述开孔与所述蒸镀孔一一对应且所述开孔的尺寸不小于所述蒸镀孔的尺寸。本实用新型提供的掩膜版，可有效降低阴极蒸镀材料与保护层之间的附着能力，从而使得粘结在掩膜版上的阴极蒸镀材料可以很容易的被清洗掉，达到快速清洗的效果。