[实用新型]一种适用于PECVD设备的防砸舟推舟机构有效
| 申请号： | 201921564146.3 | 申请日： | 2019-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN210826352U | 公开（公告）日： | 2020-06-23 |
| 发明（设计）人： | 王玉明;刘景博;陈晖;张庶 | 申请（专利权）人： | 苏州拓升智能装备有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/50 | 分类号： | C23C16/50 |
| 代理公司： | 北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11369 | 代理人： | 韩飞 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种适用于PECVD设备的防砸舟推舟机构，包括：桨杆装置；与所述桨杆装置滑动连接的滑动组件；与所述滑动组件滑动连接的顶升组件；以及固接于所述滑动组件底端的石墨舟检测组件；其中，所述桨杆装置通过T型悬臂与所述滑动组件相固接。本实用新型具有将桨杆装置与滑动组件及顶升组件通过T型悬臂连接为一个整体，不仅降低了结构空间，还使得桨杆的传送距离增大；能够对石墨舟在桨杆上放置的角度进行调节，保证石墨舟放置稳妥牢靠的有益效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 适用于 pecvd 设备 防砸舟推舟 机构 | ||
【主权项】：
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
