[实用新型]一种镀膜均匀的真空镀膜装置

摘要

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其涉及一种镀膜均匀的真空镀膜装置，包括底座，所述底座的上端面安装固定有箱体，箱体上端面的中部安装固定有真空泵，真空泵的一端连通有抽气管并与箱体的内部连通，箱体一侧的上端安装固定有伺服电机，伺服电机的输出端通过联轴器安装有旋转轴并与箱体的内部连通，旋转轴上均匀焊接有支架和辊轴，箱体下部的内壁之间安装固定有扩散板，箱体底壁的中部安装固定有蒸发源，箱体一侧的底部连通有排气管，箱体另一侧的底部连通有进气管，且进气管的一端与鼓风机的输出端连通。本实用新型中，可以更加均匀进行镀膜作业，充气的过程中，滤网可以更好的拦截碎屑和漂浮物，从而降低了镀膜的不良率。