[实用新型]一种区熔炉气相掺杂管路系统有效
| 申请号： | 201921615639.5 | 申请日： | 2019-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN210826445U | 公开（公告）日： | 2020-06-23 |
| 发明（设计）人： | 刘凯;吴磊;王遵义;万静;郝大维;孙健;谭永麟 | 申请（专利权）人： | 天津中环领先材料技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B13/12 |
| 代理公司： | 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211 | 代理人： | 戴文仪 |
| 地址： | 300384 天津市滨海新区*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种区熔炉气相掺杂管路系统，包括相互独立的工型掺杂气路和π型掺杂气路；两气路的保护气进气口均通过气路选择阀一与保护气气源连接，两气路的掺杂气进气口均通过气路选择阀二与掺杂气气源连接；两条气路的出气口均通过气路选择阀三与区熔炉内腔连通；两气路的排气口均通过气路选择阀四与压力控制器连接；通过控制系列气路选择阀可实现工型掺杂气路和π型掺杂气路的打开和关闭。本实用新型所述的区熔炉气相掺杂管路系统通过一系列气路选择阀将两条气路隔离，通过控制气路选择阀的启闭，实现工型掺杂气路和π型掺杂气路的自由切换，无需频繁拆卸和安装管道，解决了浪费工时和引入空气、粉尘等污染物的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 熔炉 掺杂 管路 系统 | ||
【主权项】：
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