[实用新型]基板检测装置有效
| 申请号： | 201921615984.9 | 申请日： | 2019-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN211374551U | 公开（公告）日： | 2020-08-28 |
| 发明（设计）人： | 崔汉铉;河完龙;徐正欢 | 申请（专利权）人： | 塔工程有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/892 | 分类号： | G01N21/892;G01N21/89 |
| 代理公司： | 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) 11363 | 代理人： | 许伟群;周晓雨 |
| 地址： | 韩国庆*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本实用新型实施例所述的基板检测装置包括：设置在基板检测区域内来检测基板表面的基板检测单元；以基板检测区域为基准，位于基板的移送方向的上游侧的第一夹具模块；以及以基板检测区域为基准，位于基板的移送方向的下游侧的第二夹具模块，其中，第一检测模块以把持以与基板的后行端相邻的方式存在或在基板的后行端存在的基板的第一部分的状态进行移动，由此使以与基板的先行端相邻的方式存在或在基板的后行端存在的基板的第二部分通过基板检测区域，在第二部分通过基板检测区域后，第一部分被解除，在第一夹具模块解除第一部分之前或者解除的同时，第二夹具模块以把持第二部分的状态进行移动，来使第一部分通过基板检测区域。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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