[实用新型]一种芯片封装治具有效
申请号: | 201921622811.X | 申请日: | 2019-09-27 |
公开(公告)号: | CN210403661U | 公开(公告)日: | 2020-04-24 |
发明(设计)人: | 戴建业;唐晓琦;王峥;刘伟;徐鸿卓 | 申请(专利权)人: | 北京燕东微电子有限公司 |
主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56 |
代理公司: | 北京成创同维知识产权代理有限公司 11449 | 代理人: | 蔡纯;刘静 |
地址: | 100015 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种芯片封装治具,该芯片封装治具用于对待封装部件进行封装;芯片封装治具包括上模具、下模具和伸缩装置,其中:上模具和下模具能够扣合形成用于容纳待封装部件的模腔;上模具上设有通孔;下模具上设有注料孔;伸缩装置包括:与上模具固定连接的固定板;上定位板和下定位板,上定位板与固定板固定连接;压杆和压块,压杆的一端与下定位板连接,另一端与压块连接;驱动组件,驱动组件用于驱动下定位板相对于上定位板运动,带动压块通过通孔进入模腔内,直至压块的下表面与芯片的背面相贴合。采用该芯片封装治具,无需进行贴膜和揭膜,即可获得裸露芯片的封装结构,节约了生产成本,提升了生产效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 芯片 封装 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造