[实用新型]半导体硅晶圆表面瑕疵多视角视觉检查治具有效
| 申请号： | 201921628798.9 | 申请日： | 2019-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN210982257U | 公开（公告）日： | 2020-07-10 |
| 发明（设计）人： | 林火旺;刘立清;廖文民 | 申请（专利权）人： | 东莞市庆颖智能自动化科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N21/01 |
| 代理公司： | 厦门市新华专利商标代理有限公司 35203 | 代理人： | 吴成开;徐勋夫 |
| 地址： | 523000 广东省东莞市*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开一种半导体硅晶圆表面瑕疵多视角视觉检查治具，包括有机架、活动架、摆动架、承托装置、第一驱动机构以及第二驱动机构；该承托装置包括有球轴以及托盘；通过将摆动架的下端与活动架的上端铰接，并配合第一驱动机构带动活动架水平横向及纵向活动，从而通过活动架的水平横向或者纵向活动来控制摆动架万向摆动，球轴通过球头可万向摆动地安装在机架上，而且球轴的下端可转动地安装在摆动架上，从而使得球轴可以随着摆动架的摆动而相应摆动；以及，通过于摆动架上设置有第二驱动机构，从而利用第二驱动机构带动球轴转动；通过第一驱动机构和第二驱动机构来让硅晶圆朝不同方向摆动，这样就可以从多个角度对硅晶圆进行全面的检查。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 硅晶圆 表面 瑕疵 视角 视觉 检查 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东莞市庆颖智能自动化科技有限公司，未经东莞市庆颖智能自动化科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201921628798.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种具有固定结构的供暖炉
- 下一篇：一种便于收纳的电暖器
