[实用新型]扩散进气导流器

摘要

本实用新型涉及晶圆加工装置技术领域，尤其涉及扩散进气导流器,解决现有技术中存在的晶圆在进行扩散工序时扩散不均匀的缺点，包括炉管、圆环和支撑柱脚，炉管中设有扩散舟，扩散舟上设有晶圆，炉管中设有固定板，圆环内通过转轴转动连接有多个间隔等距且平行的斜板，且斜板之间连接有螺旋杆，圆环的外侧设有固定块，且固定块位于最上端斜板的外侧，两个支撑柱脚分别焊接于圆环的下端外侧，且分别位于斜板中心线两侧，且支撑柱脚设置在固定板上,本实用新型结构简单，成本低廉，气流导向舟底部使舟底部富含气流，从而使扩散均匀，并且能够方便调节气流导向的角度。