[实用新型]一种硅片用装片工装有效
申请号: | 201921644044.2 | 申请日: | 2019-09-29 |
公开(公告)号: | CN211109760U | 公开(公告)日: | 2020-07-28 |
发明(设计)人: | 邹文龙;冯强;丁雷 | 申请(专利权)人: | 苏州晶樱光电科技股份有限公司 |
主分类号: | B65G47/74 | 分类号: | B65G47/74 |
代理公司: | 南京常青藤知识产权代理有限公司 32286 | 代理人: | 金迪 |
地址: | 215000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型提供一种硅片用装片工装,包括底座和底板,所述底板通过一垫片呈斜坡状设在所述底座上,所述底板上设有若干自上而下的水溢出槽,所述水溢出槽之间设有互通的水溢出孔,所述底板两侧的所述底座上分别设有侧板,所述底座与所述底板连接的一端上分开设有两后板,所述后板上设有防撞皮筋,所述后板分别与接近的所述侧板的顶端之间设有连接板,所述后板与所述侧板相互垂直且留有间隙设置。本实用新型减少硅片装片时边缘受损,且便于操作。 | ||
搜索关键词: | 一种 硅片 用装片 工装 | ||
【主权项】:
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