[实用新型]一种晶圆载运装置有效
| 申请号： | 201921651236.6 | 申请日： | 2019-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN210593139U | 公开（公告）日： | 2020-05-22 |
| 发明（设计）人： | 邱摩西;刘汝拯;陈松平;何江波 | 申请（专利权）人： | 义柏科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | B65D25/10 | 分类号： | B65D25/10;B65D43/16;B65D85/90 |
| 代理公司： | 深圳市瑞方达知识产权事务所(普通合伙) 44314 | 代理人： | 林俭良 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙岗区园山街道保安社区简龙街12号4栋1*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种晶圆载运装置，包括底盖，其上设有容置所述晶圆的容置槽；所述容置槽的内侧设有沿所述容置槽的径向凸起以支撑所述晶圆的环形支撑台；顶盖，所述顶盖设置在所述底盖的一侧且与所述底盖可活动连接，以盖合所述底盖，限位结构，其包括间隔设置在所述顶盖中的若干限位凸台、以及设置在所述容置槽内侧壁且沿所述环形支撑台间隔设置以与所述限位凸台配合限位的若干限位槽；在所述晶圆置于所述环形支撑台且所述底盖和所述顶盖盖合时，所述限位凸台的内壁面与所述晶圆的外边缘抵接以对所述晶圆进行限位。该晶圆载运装置可支撑固定该晶圆，最大程度的保护晶圆，避免晶圆在存储或运载过程中损坏。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 载运 装置 | ||
【主权项】：
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