[实用新型]卧式扩散炉的石英管有效
| 申请号： | 201921651714.3 | 申请日： | 2019-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN210167335U | 公开（公告）日： | 2020-03-20 |
| 发明（设计）人： | 陆益;邹威;赵晓非;张凡文;裘俊庆;王毅 | 申请（专利权）人： | 扬州扬杰电子科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 扬州市苏为知识产权代理事务所(普通合伙) 32283 | 代理人： | 郭翔 |
| 地址： | 225008 江苏省扬*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 卧式扩散炉的石英管。涉及半导体加工技术领域，尤其涉及卧式扩散炉的石英管的结构改进。提供了结构紧凑合理，提高氧化膜厚度均匀性的卧式扩散炉的石英管。包括管体，所述管体上靠近进气口处设有气体搅拌机构；所述气体搅拌机构包括风叶和与所述管体的内腔适配的导流柱；所述导流柱包括依次连通的导向部、混合仓和扩散仓；所述导向部上设有若干倾斜设置的导流孔；若干所述导流孔的进气口分别均布设置在所述导流柱的端部，所述导流孔的出气口分别与所述混合仓连通；所述混合仓位于所述导向部与扩散部之间，靠近所述导流部的中部位置；所述风叶活动设置在所述扩散仓上，位于中部位置。本实用新型具有结构紧凑合理，提高氧化膜厚度均匀性等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 卧式 扩散 石英管 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
