[实用新型]一种等离子气体用的传输装置有效
申请号: | 201921658773.3 | 申请日: | 2019-09-30 |
公开(公告)号: | CN210607177U | 公开(公告)日: | 2020-05-22 |
发明(设计)人: | 杨逸波 | 申请(专利权)人: | 无锡英普朗科技有限公司 |
主分类号: | H01J37/32 | 分类号: | H01J37/32 |
代理公司: | 苏州隆恒知识产权代理事务所(普通合伙) 32366 | 代理人: | 周子轶 |
地址: | 214124 江苏省无锡市经济*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及了气体传输技术领域,公开了一种等离子气体用的传输装置,包括:传输管道,所述传输管道的进口端和出口端分别与第一设备和第二设备连通,以将所述等离子气体从所述第一设备传输到所述第二设备中。气体加热器件,所述气体加热器件设于所述传输管道的内部,以对所述传输管道内流动的所述等离子气体进行加热。控制模块,所述控制模块设于所述传输管道外部,所述控制模块与所述气体加热器件电性连接,以对所述气体加热器件进行控制。电源,所述电源与所述控制模块电性连接,以对所述控制模块提供电能。本实用新型一种等离子气体用的传输装置,能够抑制等离子气体在传输管道中沉积粉末,从而延长传输管道的维护周期。 | ||
搜索关键词: | 一种 等离子 体用 传输 装置 | ||
【主权项】:
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