[实用新型]一种用于防止等离子气体沉积的传输单元有效
申请号: | 201921658780.3 | 申请日: | 2019-09-30 |
公开(公告)号: | CN211010372U | 公开(公告)日: | 2020-07-14 |
发明(设计)人: | 杨逸波 | 申请(专利权)人: | 无锡英普朗科技有限公司 |
主分类号: | F16L53/38 | 分类号: | F16L53/38 |
代理公司: | 苏州隆恒知识产权代理事务所(普通合伙) 32366 | 代理人: | 周子轶 |
地址: | 214124 江苏省无锡市经济*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及了气体传输技术领域,公开了一种用于防止等离子气体沉积的传输单元。包括:具有进口和出口的管体、设置在所述管体内的加热丝;所述加热丝自所述管体的进口处延伸至所述管体的出口处;所述加热丝包括第一本体和套设在所述第一本体外侧的第二本体,所述第一本体为镍铬合金层,所述第二本体为不锈钢层。本实用新型一种用于防止等离子气体沉积的传输单元,能够使等离子气体在管体内的每一处都能被持续加热,并且能够提高对等离子气体的加热速度,使等离子气体能够快速升温至较高的预设温度。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 防止 等离子 气体 沉积 传输 单元 | ||
【主权项】:
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