[实用新型]一种用于防止等离子气体沉积的传输单元有效

专利信息
申请号: 201921658780.3 申请日: 2019-09-30
公开(公告)号: CN211010372U 公开(公告)日: 2020-07-14
发明(设计)人: 杨逸波 申请(专利权)人: 无锡英普朗科技有限公司
主分类号: F16L53/38 分类号: F16L53/38
代理公司: 苏州隆恒知识产权代理事务所(普通合伙) 32366 代理人: 周子轶
地址: 214124 江苏省无锡市经济*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型涉及了气体传输技术领域,公开了一种用于防止等离子气体沉积的传输单元。包括:具有进口和出口的管体、设置在所述管体内的加热丝;所述加热丝自所述管体的进口处延伸至所述管体的出口处;所述加热丝包括第一本体和套设在所述第一本体外侧的第二本体,所述第一本体为镍铬合金层,所述第二本体为不锈钢层。本实用新型一种用于防止等离子气体沉积的传输单元,能够使等离子气体在管体内的每一处都能被持续加热,并且能够提高对等离子气体的加热速度,使等离子气体能够快速升温至较高的预设温度。
搜索关键词: 一种 用于 防止 等离子 气体 沉积 传输 单元
【主权项】:
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