[实用新型]一种镀膜治具有效
| 申请号： | 201921661706.7 | 申请日： | 2019-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN210765484U | 公开（公告）日： | 2020-06-16 |
| 发明（设计）人： | 唐宏彬;邓有财;庄曜玮;吴霁圃;黄文嘉;张中英 | 申请（专利权）人： | 厦门三安光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 361100 福建省厦门市*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 一种镀膜治具，用于半导体晶片的电子束或离子束蒸镀工艺，治具为一种装填颗粒状镀料的衬锅，衬料经过电子束或离子束的激发蒸发镀料对半导体晶片进行镀膜，该镀膜治具具有锥状开口，开口的角度不大于75°，减小开口角度、减少治具底部面积，保证治具在镀膜过程中，具有更均匀的温场，避免镀料凝聚，提高镀料使用率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 镀膜 | ||
【主权项】：
暂无信息
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