[实用新型]一种纳米线气体传感器及电子鼻系统有效
申请号: | 201921663061.0 | 申请日: | 2019-09-30 |
公开(公告)号: | CN211553852U | 公开(公告)日: | 2020-09-22 |
发明(设计)人: | 黄辉;赵丹娜;尚瑞晨;段海波;吴海宁 | 申请(专利权)人: | 深圳市微纳集成电路与系统应用研究院 |
主分类号: | G01N27/407 | 分类号: | G01N27/407;B82Y15/00 |
代理公司: | 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 | 代理人: | 汪海琴 |
地址: | 518000 广东省深圳市南*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型属于电子技术领域,公开了一种纳米线气体传感器及电子鼻系统,纳米线气体传感器包括衬底和多根纳米线,多根纳米线设置在衬底的上表面,每个纳米线的两端均设置有电极,多根纳米线的表面分别覆盖多种表面修饰层;通过单根纳米线(或有限根数的纳米线)形成独立纳米线器件,从而形成纳米线器件阵列。通过多根纳米线的表面分别覆盖多种表面修饰层,使得不同的纳米线器件具备不同的气体响应特性,从而实现气体成分识别。 | ||
搜索关键词: | 一种 纳米 气体 传感器 电子 系统 | ||
【主权项】:
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