[实用新型]三氯氢硅储存利用过程中氢气的循环系统有效
| 申请号： | 201921667238.4 | 申请日： | 2019-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN210656180U | 公开（公告）日： | 2020-06-02 |
| 发明（设计）人： | 梁富义;高杰;艾桐行;颜泽亮 | 申请（专利权）人： | 内蒙古鄂尔多斯多晶硅业有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107;B01D3/14 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 017000 内蒙古自治*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种三氯氢硅储存利用过程中氢气的循环系统，包括有精馏塔、第一中间储罐、第二中间储罐、还原炉，精馏塔的出口与进料泵的入口管线连接，进料泵的出口分别与第一中间储罐、第二中间储罐的入口管线连接，在第一中间储罐与第二中间储罐之间连通有连接管线，第一中间储罐、第二中间储罐的出口分别与屏蔽泵的入口管线连接，屏蔽泵的出口与还原炉的入口管线连接。优点：不仅可以对氢气进行充分的回收和循环利用，还能大大减少三氯氢硅与其他气体接触造成的品质问题及三氯氢硅的浪费，降低了成本；三氯氢硅打入第一中间储罐时排出的夹杂有少量三氯氢硅的氢气直接排入第二中间储罐中提供给屏蔽泵入口压力，保证屏蔽泵的正常工作。 | ||
| 搜索关键词： | 三氯氢硅 储存 利用 过程 氢气 循环系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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