[实用新型]一种针对镜面表面变形梯度的双方向同步在线测量系统

摘要

本实用新型涉及一种针对镜面表面变形梯度的双方向同步在线测量系统，属于全场干涉类光学测量技术领域。本实用新型的双方向同步在线测量系统，采用分光棱镜、反射镜对光路进行改进，可实现两个方向的变形梯度同步测量，解决了在使用相干梯度敏感干涉方法同时测量任意两个方向的变形梯度问题。采用反射式干涉原理，可有效地对镜面表面的变形梯度实现在线测量，进一步基于两个变形梯度的数据，得到镜面表面的形貌。本实用新型的双方向同步在线测量系统，采用了一体化、小型化设计理念，装置结构简单，因此设备成本低，使用时操作简易。