[实用新型]一种双向进出管式PECVD设备

摘要

本实用新型公开了一种双向进出管式PECVD设备，包括至少一个设备进口和一个设备出口，自设备进口朝向设备出口依次设置放舟部、预热部、PECVD工艺反应炉管、冷却部和取舟部，放舟部将石墨舟外部的石墨舟抓取并收取到放舟部，放舟部将石墨舟放至预热部进行预热，预热完成后石墨舟移动到PECVD工艺反应炉管进行反应，结束后再到冷却部冷却，冷却结束后通过取舟部将石墨舟取出设备。采用本实用新型的设计，采用双向进出的模式进行PECVD反应，当进行PECVD反应的同时能够进行预热操作，大大加快了生产工艺的进程。