[实用新型]一种生产多晶硅的废气回收系统有效
申请号: | 201921690513.4 | 申请日: | 2019-10-10 |
公开(公告)号: | CN210736226U | 公开(公告)日: | 2020-06-12 |
发明(设计)人: | 黄俊;颜泽亮;韩继文;虎登慧 | 申请(专利权)人: | 内蒙古鄂尔多斯多晶硅业有限公司 |
主分类号: | C01B33/107 | 分类号: | C01B33/107;C01B7/07;C01B3/56;C01B33/035;B01D53/04;B01D53/18 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 017000 内蒙古自治*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种生产多晶硅的废气回收系统,其包括氢气源、氯硅烷储罐、精馏塔、第一冷凝器、储液罐、缓存罐、冷氢化系统、第一氢压机、第二冷凝器和第二氢压机。有益效果:本实用新型连接关系简单,易实现,实现了氢气的回收利用,避免了浪费,减少了生产成本,同时也实现了氯化氢和氯硅烷的回收利用,避免了废气外排污染了环境。 | ||
搜索关键词: | 一种 生产 多晶 废气 回收 系统 | ||
【主权项】:
暂无信息
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