[实用新型]具有洁净机构的IC测试分类机有效
| 申请号： | 201921690678.1 | 申请日： | 2019-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN210182347U | 公开（公告）日： | 2020-03-24 |
| 发明（设计）人： | 邓杨 | 申请（专利权）人： | 京隆科技(苏州)有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京华夏博通专利事务所(普通合伙) 11264 | 代理人： | 刘俊 |
| 地址： | 215123 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型揭示了一种具有洁净机构的IC测试分类机，包括机台及设置其上的测试区、IC取放机构、移载区、托盘收集区、卸载分类区及防尘室，测试区及IC取放机构设置于防尘室内，防尘室具有入口，供托盘由移载区移入防尘室，防尘室于入口设有洁净机构，洁净机构包括固定座、气帘杆及压缩气产生器，气帘杆经由该固定座安装于防尘室内壁且位于入口上方，气帘杆具有多个通气孔，压缩气体产生器经管路连接该气帘杆，提供气体供该气帘杆由通气孔吹出，借此去除托盘上待测晶片表面所附着的微尘。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 洁净 机构 ic 测试 分类机 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
