[实用新型]一种防水药镀膜结构有效
申请号: | 201921696115.3 | 申请日: | 2019-10-11 |
公开(公告)号: | CN210765486U | 公开(公告)日: | 2020-06-16 |
发明(设计)人: | 叶小兵;孔德兴 | 申请(专利权)人: | 张家港志辰光学技术有限公司 |
主分类号: | C23C14/30 | 分类号: | C23C14/30;C23C14/12;C23C14/54 |
代理公司: | 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260 | 代理人: | 丰叶 |
地址: | 215600 江苏省苏州市张家港保税区新*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种防水药镀膜结构,包括电子束和箱体,箱体具有腔体,腔体上端设置有基材,还包括镀膜装置,镀膜装置包括内衬坩埚和外衬坩埚,外衬坩埚直径大于内衬坩埚直径,内衬坩埚设置在外衬坩埚内底部的中央,外衬坩埚外底部与冷凝装置上端面连接,内衬坩埚上端面和箱体下端面连通且拆卸,电子束位于内衬坩埚和外衬坩埚之间,电子束与外衬坩埚连接且拆卸,电子束为环形结构,电子束的光束方向朝向内衬坩埚外壁,内衬坩埚和外衬坩埚都为金属Mo坩埚,本实用新型的目的在于提供一种结构简单、快速镀膜、安全性高的防水药镀膜结构。 | ||
搜索关键词: | 一种 防水 镀膜 结构 | ||
【主权项】:
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