[实用新型]一种霍尔离子源有效
| 申请号： | 201921703112.8 | 申请日： | 2019-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN211227315U | 公开（公告）日： | 2020-08-11 |
| 发明（设计）人： | 刘慧超 | 申请（专利权）人： | 东莞东阳光高能医疗设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/32;H01J27/14 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 523808 广东省东莞市松山湖*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型属于离子源技术领域，公开一种霍尔离子源，包括反应室，所述反应室包括第一反应室、第二反应室、第三反应室，所述第二反应室分别与所述第一反应室、第三反应室相连；所述第一反应室包括磁钢模块，所述磁钢模块包括多块同轴设置的磁钢元件；所述第二反应室包括阳极模块；所述第三反应室包括阴极元件；所述磁钢模块、所述阳极模块、所述阴极元件相对设置。本实用新型提供的一种霍尔离子源，磁钢组件设置为可叠加的结构，可以通过增减磁钢元件的个数实现调节磁场大小。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 霍尔 离子源 | ||
【主权项】：
暂无信息
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