[实用新型]一种大尺寸晶体生长装置

摘要

本实用新型提供了一种大尺寸晶体生长装置，其由内向外依次包括：晶体生长室、第一石英管、感应线圈、第二石英管，晶体生长室用于生长大尺寸晶体，感应线圈呈螺旋状缠绕设置于第一石英管外侧，感应线圈的匝间距为0‑6mm，感应线圈设置在旋转机构上，旋转机构控制感应线圈转动。本实用新型通过优化感应线圈的设置，来提高感应线圈产生磁场的均匀性，可以使晶体生长室四周的温度尽可能均匀，有效地减少晶体四周厚度不均匀的现象，有效地减少料面出现的某一方向上的塌陷，使晶体生长室沿各个方向上被侵蚀的速率一样，增加了这些耗材的使用次数和长晶的稳定性。