[实用新型]一种可控制陶瓷盘热变形的抛光机压力盘有效
| 申请号： | 201921721881.0 | 申请日： | 2019-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN210849678U | 公开（公告）日： | 2020-06-26 |
| 发明（设计）人： | 王永成 | 申请（专利权）人： | 上海致领半导体科技发展有限公司 |
| 主分类号： | B24B29/00 | 分类号： | B24B29/00;B24B41/04;B24B55/03 |
| 代理公司： | 上海互顺专利代理事务所(普通合伙) 31332 | 代理人： | 韦志刚 |
| 地址： | 201319 上海市浦东新区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种可控制陶瓷盘热变形的抛光机压力盘，其结构包括安装环、连接管、通口、连接罩、压力盘、密封连接片、抛光盘、第一陶瓷盘、第二陶瓷盘、水管、第一水路和第二水路，该可控制陶瓷盘热变形的抛光机压力盘通过选择在不是实心的金属盘内部设置两个水路，两个水路可以实现盘边凹或变凸，同时通过两个水路的温度差，实现形变的控制，解决了现有的压力盘往往为实心金属盘，下面为陶瓷盘，陶瓷盘为晶圆，同时加工时间较长，加工过程中容易发热膨胀和受到压力，导致发生变形的问题，达到防止变形的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 控制 陶瓷 变形 抛光机 压力 | ||
【主权项】：
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