[实用新型]一种用于X射线电子能谱的样品分析面调平装置有效
| 申请号： | 201921722307.7 | 申请日： | 2019-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN210803336U | 公开（公告）日： | 2020-06-19 |
| 发明（设计）人： | 王志轩 | 申请（专利权）人： | 闳康技术检测（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/2204 | 分类号： | G01N23/2204 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 200120 上海市浦东新区中国(上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种用于X射线电子能谱的样品分析面调平装置，包括底板、至少三个夹持杆、设于夹持杆一端的硅片夹持球、用于调整夹持杆周向位移的周向组件和用于调整周向组件沿夹持杆轴向方向位移的轴向组件，其中各夹持杆于底板上表面的竖直方向上的投影延长线相交于同一点，所述硅片夹持球的外球面由多个平面拼接而成，能够确保样品分析面处于水平面状态，从而提高检测的准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 射线 电子 样品 分析 平装 | ||
【主权项】：
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