[实用新型]阶梯型字线结构有效
| 申请号： | 201921731801.X | 申请日： | 2019-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN210837738U | 公开（公告）日： | 2020-06-23 |
| 发明（设计）人： | 冯鹏;孔忠;李雄 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/538 | 分类号： | H01L23/538;H01L27/108;H01L21/768;H01L21/8242 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 孙佳胤;高翠花 |
| 地址： | 230001 安徽省合肥市蜀山*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种阶梯型字线结构，其包括导电层，所述导电层的顶端呈中间高两边低的阶梯型构型。本实用新型阶梯型字线结构在降低字线结构的电阻的同时还能够避免产生GIDL效应。 | ||
| 搜索关键词： | 阶梯 型字线 结构 | ||
【主权项】：
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