[实用新型]等离子清洗机的清洗腔体结构有效
| 申请号： | 201921741572.X | 申请日： | 2019-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN210701513U | 公开（公告）日： | 2020-06-09 |
| 发明（设计）人： | 张春辉 | 申请（专利权）人： | 江苏胜辉半导体设备有限公司;张春辉 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00 |
| 代理公司： | 北京酷爱智慧知识产权代理有限公司 11514 | 代理人： | 陈巍 |
| 地址： | 221000 江苏省徐州市经*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种等离子清洗机的清洗腔体结构，包括：腔体下盖、电极框架、腔体上盖和驱动机构；所述下盖腔体的底部设有第一玻璃板，所述第一玻璃板的四个角设置有绝缘座，所述绝缘座的上侧设有第二玻璃板，所述第二玻璃板的四个角支撑于所述绝缘座上；所述电极框架安装于所述第二玻璃板上，电极框架通过导线与射频电源的阳极相连；所述腔体上盖盖合在所述腔体下盖上，腔体上盖与腔体下盖之间形成密封腔体；所述驱动机构用于驱动所述腔体上盖与腔体下盖打开或盖合。本实用新型在相同的清洗时间下，使用的射频电源的功率更小，清洗时材料的温度更低，射频电源的寿命更长。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子 清洗 结构 | ||
【主权项】：
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