[实用新型]一种光学真空镀膜用抽气装置有效

专利信息
申请号: 201921741637.0 申请日: 2019-10-17
公开(公告)号: CN210657124U 公开(公告)日: 2020-06-02
发明(设计)人: 陈晓东 申请(专利权)人: 常州鑫立离子技术有限公司
主分类号: C23C14/56 分类号: C23C14/56;C23C14/24
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 213114 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种光学真空镀膜用抽气装置,包括镀膜机箱,镀膜机箱的一侧设有可视窗,镀膜机箱的一端设有冷凝箱,另一端设有加热器,镀膜机箱的底端四个侧面均焊接有插板,镀膜机箱的顶端安装有抽气箱,抽气箱上连接有若干个输气管,镀膜机箱的四个拐角均焊接有镀膜机箱固定架,镀膜机箱固定架的底端连接有液压缸,液压缸固定在底座上,底座的底端四个拐角处均焊接有支撑腿,底座的两端均设有液压制动箱,该镀膜装置将抽真空装置与镀膜箱分开,并通过抽气管连接,减少镀膜箱的负重,检修十分方便,灵活性强,而且镀膜箱的密封性好,取拿镀膜件简单方便,可以对多个镀膜件进行同时镀膜,效率高,速度快,整体稳定性能高。
搜索关键词: 一种 光学 真空镀膜 用抽气 装置
【主权项】:
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