[实用新型]一种硅烷混合气体回收处理系统有效

专利信息
申请号: 201921744719.0 申请日: 2019-10-17
公开(公告)号: CN210964462U 公开(公告)日: 2020-07-10
发明(设计)人: 许进荣;曹素英;郑基柱 申请(专利权)人: 福建久策气体集团有限公司
主分类号: B01D50/00 分类号: B01D50/00;B01D53/00;F23G7/06
代理公司: 福州元创专利商标代理有限公司 35100 代理人: 林文弘;蔡学俊
地址: 350109 福建省*** 国省代码: 福建;35
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摘要: 实用新型公开了一种硅烷混合气体回收处理系统,包括回收罐、燃烧室、喷淋单元、粉尘收集器、尾气放空单元。其中回收罐设有内胆、压力表、温度计及换热盘管;燃烧室的底部设有水池和排污口,中部设有气体分布器和补水管;喷淋单元设有喷淋管和循环水泵,喷淋管安装在燃烧室顶部,循环水泵入口与燃烧室底部水池相连;粉尘收集器设有布袋和收集桶;用来收集尾气中的粉尘二氧化硅,并富积在底部收集桶内;尾气放空单元设有风机和15m高的放空烟囱,使尾气于15m高的区域进行放空。本实用新型可以使高价值的硅烷气体得以回收使用,很好的节约生产成本,提高企业的经济效益;同时,极大的减少了硅烷尾气燃烧所带来的环境问题。
搜索关键词: 一种 硅烷 混合气体 回收 处理 系统
【主权项】:
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