[实用新型]一种用于光刻胶的过滤装置有效
申请号: | 201921747444.6 | 申请日: | 2019-10-18 |
公开(公告)号: | CN210874400U | 公开(公告)日: | 2020-06-30 |
发明(设计)人: | 佟新廷 | 申请(专利权)人: | 昆山虹灿光电材料有限公司 |
主分类号: | B01D36/00 | 分类号: | B01D36/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种用于光刻胶的过滤装置,包括入料口和壳体,所述壳体的上端安装有入料口,所述壳体的前端中心处套接有连接环,所述壳体的左端上侧外壁上设置有上通气口,所述上通气口的左端圆周外部套接有上帽塞,所述壳体的下端外壁上设置有出料口,所述壳体的左端下侧外壁上设置有下通气口,通过将过滤装置内部的过滤系统改为分段防漏过滤装置,通过在壳体的内壁加装一圈连接曲壁,使得从入料口顺着内壁流入的料液也能通过连接曲壁流入过滤系统进行过滤处理,而且整个滤膜被分成两部分,上端杂质最多的部分由单独的连接过滤柱进行过滤,使得折叠式滤膜的利用率得到提升,也使得过滤装置对料液的整体过滤效果更好。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 光刻 过滤 装置 | ||
【主权项】:
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